Тэхналогія трубаправодаў высокай чысціні з'яўляецца важнай часткай сістэмы забеспячэння газам высокай чысціні, якая з'яўляецца ключавой тэхналогіяй для дастаўкі патрабаванага газу высокай чысціні да месца выкарыстання і пры гэтым падтрымлівае кваліфікаваную якасць;Тэхналогія газаправодаў высокай чысціні ўключае правільную канструкцыю сістэмы, выбар фітынгаў і аксесуараў, будаўніцтва і ўстаноўку, а таксама выпрабаванні.У апошнія гады ўсё больш строгія патрабаванні да чысціні і ўтрыманню прымешак у газах высокай чысціні пры вытворчасці мікраэлектронных вырабаў, прадстаўленых буйнамаштабнымі інтэгральнымі схемамі, выклікалі ўсё большую заклапочанасць і акцэнт на тэхналогію трубаправодаў для газаў высокай чысціні.Ніжэй прыводзіцца кароткі агляд трубаправодаў высокай чысціні ад выбару матэрыялаўof будаўніцтва, а таксама прыёмка і штодзённае кіраванне.
Віды распаўсюджаных газаў
Класіфікацыя звычайных газаў у электроннай прамысловасці:
Агульныя газы（Наліўны газ): вадарод (H2), азот (N2), кісларод (О2), аргон (А2) і г.д.
Спецыяльныя газыз'яўляюцца SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,ВЧ,HBR SF6…… і г.д.
Тыпы спецыяльных газаў можна ў цэлым класіфікаваць як каразійныягаз, таксічныгаз, вогненебяспечныгаз, гаручаегаз, інертныгазі г.д. Звычайна выкарыстоўваюцца паўправадніковыя газы звычайна класіфікуюцца наступным чынам.
(i) Карозійны / таксічныгаз: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Кл2, да н.э3… і г.д.
(ii) Вогненебяспечнасцьгаз: Х2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, Б2H6, CH2F2,CH3F, CO… і г.д.
(iii) гаручасцьгаз: О2, Кл2, Н2О, Н.Ф3… і г.д.
(iv) Інертныгаз: Н2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He… і г.д.
Многія паўправадніковыя газы шкодныя для арганізма чалавека.У прыватнасці, некаторыя з гэтых газаў, такія як SiH4 самазагаранне, пакуль уцечка ўступіць у бурную рэакцыю з кіслародам у паветры і пачне гарэць;і AsH3вельмі таксічны, любая нязначная ўцечка можа прывесці да рызыкі для жыцця чалавека, менавіта з-за гэтых відавочных небяспек, таму патрабаванні да бяспекі канструкцыі сістэмы асабліва высокія.
Сфера прымянення газаў
Як важная асноўная сыравіна сучаснай прамысловасці, газавыя прадукты шырока выкарыстоўваюцца, і вялікая колькасць звычайных газаў або спецыяльных газаў выкарыстоўваецца ў металургіі, сталеліцейнай, нафтавай, хімічнай прамысловасці, машынабудаванні, электроніцы, шкле, кераміцы, будаўнічых матэрыялах, будаўніцтве , харчовая прамысловасць, медыцына і медыцынскія сектары.Прымяненне газу мае важны ўплыў на высокія тэхналогіі гэтых радовішчаў, у прыватнасці, і з'яўляецца яго незаменнай сыравінай або тэхналагічным газам.Толькі з улікам патрэбаў і прасоўвання розных новых прамысловых сектараў і сучаснай навукі і тэхналогій, прадукцыя газавай прамысловасці можа развівацца не па днях, а па гадзінах з пункту гледжання разнастайнасці, якасці і колькасці.
Прымяненне газу ў мікраэлектроніцы і паўправадніковай прамысловасці
Выкарыстанне газу заўсёды адыгрывала важную ролю ў паўправадніковых працэсах, асабліва паўправадніковыя працэсы шырока выкарыстоўваліся ў розных галінах прамысловасці, ад традыцыйнага ULSI, TFT-LCD да сучаснай мікраэлектрамеханічнай (MEMS) прамысловасці, ва ўсіх якія выкарыстоўваюць так званы паўправадніковы працэс у якасці працэсу вытворчасці прадуктаў.Чысціня газу мае вырашальны ўплыў на прадукцыйнасць кампанентаў і выхад прадукцыі, а бяспека газазабеспячэння звязана са здароўем персаналу і бяспекай працы ўстаноўкі.
Значэнне трубаправодаў высокай чысціні ў транспарціроўцы газу высокай чысціні
У працэсе плаўлення нержавеючай сталі і вытворчасці матэрыялу можа паглынацца каля 200 г газу на тону.Пасля апрацоўкі нержавеючай сталі не толькі яе паверхня ліпкая з рознымі забруджваннямі, але і яе металічная рашотка таксама паглынула пэўную колькасць газу.Калі праз трубаправод праходзіць паветраны паток, метал паглынае гэтую частку газу, якая зноў трапляе ў паветраны паток, забруджваючы чысты газ.Калі паветраны паток у трубцы з'яўляецца перарывістым, трубка адсарбуе газ пад ціскам, і калі паветраны паток спыняецца, газ, адсарбаваны трубкай, утварае перапад ціску для рашучасці, і раствораны газ таксама трапляе ў чысты газ у трубцы. як прымешкі.У той жа час адсорбцыя і раздзяленне паўтараюцца, так што метал на ўнутранай паверхні трубкі таксама вырабляе пэўную колькасць парашка, і часціцы гэтага металічнага пылу таксама забруджваюць чысты газ унутры трубкі.Гэтая характарыстыка трубкі важная для забеспячэння чысціні транспартаванага газу, што патрабуе не толькі вельмі высокай гладкасці ўнутранай паверхні трубкі, але і высокай зносаўстойлівасці.
Калі выкарыстоўваецца газ з моцнай каразійнай здольнасцю, для трубаправодаў неабходна выкарыстоўваць трубы з нержавеючай сталі, устойлівыя да карозіі.У адваротным выпадку з-за карозіі на ўнутранай паверхні трубы з'явяцца плямы карозіі, а ў сур'ёзных выпадках - вялікая плошча металічнай зачысткі або нават перфарацыя, якая забруджвае чысты газ, які будзе размеркаваны.
Падключэнне транспартных і размеркавальных газаправодаў высокай ступені чысціні з вялікімі расходамі.
У прынцыпе, усе яны зварныя, і выкарыстоўваныя трубы не павінны мець змены ў арганізацыі пры зварцы.Матэрыялы з занадта высокім утрыманнем вугляроду падвяргаюцца паветрапранікальнасці зварных дэталяў пры зварцы, што абумоўлівае ўзаемнае пранікненне газаў унутр і звонку трубы і парушае чысціню, сухасць і чысціню перадаванага газу, што прыводзіць да страты усе нашы намаганні.
Такім чынам, для газу высокай чысціні і спецыяльнага газаправода для транспарціроўкі неабходна выкарыстоўваць спецыяльную апрацоўку труб з нержавеючай сталі высокай чысціні, каб зрабіць сістэму трубаправода высокай чысціні (уключаючы трубы, фітынгі, клапаны, VMB, VMP) у размеркаванне газу высокай чысціні займае жыццёва важную місію.
Агульная канцэпцыя чыстай тэхналогіі для перадачы і размеркавання трубаправодаў
Высокачыстая і чыстая транспарціроўка газу праз трубаправод азначае, што існуюць пэўныя патрабаванні або меры кантролю для трох аспектаў газу, які транспартуецца.
Чысціня газу: утрыманне прымешак у атмасферы ў gGas purity: утрыманне прымешак у атмасферы ў газе, звычайна выражанае ў працэнтах ад чысціні газу, напрыклад 99,9999%, таксама выражанае ў выглядзе аб'ёмнага стаўлення да ўтрымання прымешак у атмасферы праміле, частак на мільярд, ppt.
Сухасць: колькасць слядоў вільгаці ў газе або колькасць, званае вільготнасцю, звычайна выражанае праз кропку расы, напрыклад кропку расы пры атмасферным ціску -70.С.
Чысціня: колькасць забруджвальных часціц, якія змяшчаюцца ў газе, памер часціц у мкм, колькі часціц/м3 трэба выказаць, для сціснутага паветра, звычайна таксама выражаецца ў колькасці мг/м3 непазбежных цвёрдых рэшткаў, якія пакрываюць утрыманне алею. .
Класіфікацыя забруджвальных рэчываў па памеры: часціцы забруджвальных рэчываў, у асноўным адносяцца да зачысткі трубаправодаў, зносу, карозіі, якія ўтвараюцца часціцамі металу, часціцамі атмасфернай сажы, а таксама мікраарганізмамі, фагамі і вільгацезмяшчальнымі кроплямі кандэнсацыі газу і г.д., у залежнасці ад памеру часціц. падзяляецца на
a) Буйныя часціцы - памер часціц больш за 5 мкм
b) Часціца - дыяметр матэрыялу ад 0,1 мкм да 5 мкм
в) Ультрамікрачасціцы - памер часціц менш за 0,1 мкм.
Для таго, каб пашырыць прымяненне гэтай тэхналогіі, каб мець магчымасць перцэпцыйнага разумення памеру часціц і адзінак мкм, для даведкі прадастаўляецца набор пэўных статусаў часціц
Далей ідзе параўнанне канкрэтных часціц
| Назва / памер часціц (мкм) | Назва / памер часціц (мкм) | Назва/ Памер часціц (мкм) |
| Вірус 0,003-0,0 | Аэразоль 0,03-1 | Аэразольныя мікракапелькі 1-12 |
| Ядзернае паліва 0,01-0,1 | Фарба 0,1-6 | Лятучая попел 1-200 |
| Сажа 0,01-0,3 | Сухое малако 0,1-10 | Пестыцыд 5-10 |
| Жывіца 0,01-1 | Бактэрыі 0,3-30 | Цэментавы пыл 5-100 |
| Цыгарэтны дым 0,01-1 | Пясчаны пыл 0,5-5 | Пылок 10-15 |
| Сілікон 0,02-0,1 | Пестыцыд 0,5-10 | Чалавечы волас 50-120 |
| Крышталізаваная соль 0,03-0,5 | Канцэнтраваная серная пыл 1-11 | Марскі пясок 100-1200 |
Час публікацыі: 14 чэрвеня 2022 г