Тэхналогія газавых трубаправодаў высокай чысціні з'яўляецца важнай часткай сістэмы пастаўкі газу высокай чысціні, якая з'яўляецца ключавой тэхналогіяй для дастаўкі неабходнага газу высокай чысціні да месца выкарыстання і па-ранейшаму падтрымлівае кваліфікаваную якасць; Тэхналогія газавых трубаправодаў высокай чысціні ўключае ў сябе правільны дызайн сістэмы, выбар фітынгаў і аксесуараў, будаўніцтва і ўстаноўку і тэставанне. У апошнія гады ўсё больш строгія патрабаванні да чысціні і ўтрымання прымешак газаў высокай чысціні ў вытворчасці прадуктаў мікраэлектронікі, прадстаўленай маштабнай інтэграванай схемай, зрабілі тэхналогію трубаправодаў газаў высокай чысціні ўсё больш занепакоенай і падкрэсліваюць. Далей ідзе кароткі агляд газавых трубаправодаў высокай чысціні ад выбару матэрыялаўof будаўніцтва, а таксама прыняцце і штодзённае кіраванне.
Тыпы агульных газаў
Класіфікацыя агульных газаў у галіне электронікі：
Агульныя газы（Насыпны газ）: вадарод (Н2), азот (n2), кісларод (o2), Аргон (а2), і г.д.
Спецыяльныя газыз'яўляюцца SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, BCl3 ,Sif4 ,Clf3 ,Штат,C2F6, N2o,F2,Hf,HBR SF6…… і г.д.
Тыпы спецыяльных газаў, як правіла, можна класіфікаваць як агрэсіўныябензін, таксічныбензін, гаручыбензін, гаручыбензін, інертбензіні г. д. Звычайна выкарыстоўваюцца паўправадніковых газаў, як правіла, класіфікуюцца наступным чынам.
(i) агрэсіўная / таксічнаябензін: HCl, BF3, WF6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, PH3, Cl2, Bcl3… І г.д.
(ii) Гаручасцьбензін: Н2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Сты3F, Co… і г.д.
(iii) гаручасцьбензін: O2, Cl2, N2O, nf3... і г.д.
(iv) інертбензін: N2, Пар4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, Ne, Kr, ён ... і г.д.
Многія паўправадніковыя газы шкодныя для чалавечага арганізма. У прыватнасці, некаторыя з гэтых газаў, напрыклад, SIH4 Спантаннае гарэнне, пакуль уцечка будзе моцна рэагаваць з кіслародам у паветры і пачне гарэць; і попел3Высока таксічная, любая нязначная ўцечка можа выклікаць рызыку жыцця чалавека, гэта звязана з гэтымі відавочнымі небяспекамі, таму патрабаванні да бяспекі праектавання сістэмы асабліва высокія.
Сфера прымянення газаў
У якасці важнай асноўнай сыравіны сучаснай прамысловасці шырока выкарыстоўваюцца газавыя прадукты, а вялікая колькасць агульных газаў або спецыяльных газаў выкарыстоўваецца ў металургіі, сталі, нафтах, хімічнай прамысловасці, машынах, электроніцы, шкла, кераміцы, будаўнічых матэрыялах, будаўніцтве, апрацоўцы харчовых прадуктаў, медыцыны і медыцынскіх сектараў. Прымяненне газу аказвае важны ўплыў на высокую тэхналогію гэтых палёў, у прыватнасці, і з'яўляецца яго незаменным сыравінай газам або газам. Толькі з патрэбамі і прасоўваннем розных новых прамысловых сектараў і сучаснай навукі і тэхналогій прадукцыя газавай прамысловасці можа быць распрацавана па скачках і межах з пункту гледжання разнастайнасці, якасці і колькасці.
Прымяненне газу ў мікраэлектронікі і паўправадніковай прамысловасці
Выкарыстанне газу заўсёды адыгрывала важную ролю ў паўправадніковым працэсе, асабліва ў паўправадніковым працэсе шырока выкарыстоўваецца ў розных галінах, ад традыцыйнага ULSI, TFT-LCD да цяперашняй мікраэлектрамеханічнай (MEMS) галіны, у якой выкарыстоўваецца так звышмоцны працэс паўправаднікоў у якасці вытворчага працэсу прадукцыі. Чысціня газу аказвае вырашальны ўплыў на прадукцыйнасць кампанентаў і ўраджайнасць прадуктаў, а бяспека пастаўкі газу звязана са здароўем персаналу і бяспекай раслінных аперацый.
Значэнне трубаправодаў высокай чысціні ў газавым транспарце высокай чысціні
У працэсе плаўлення і вырабу з нержавеючай сталі каля 200 г газу можна паглынаць на тону. Пасля перапрацоўкі нержавеючай сталі не толькі яго паверхневая ліпкая з рознымі забруджваннямі, але і ў металічнай рашотцы таксама паглынала пэўную колькасць газу. Калі праз трубаправод праходзіць паветраны паток, метал паглынае гэтую частку газу, зноў увойдзе ў паветра, забруджваючы чысты газ. Калі паветраны паток у трубцы перарываецца, трубкі адсаргуюць газ пад ціскам, і калі паветраны паток перастае праходзіць, газ, адсарбаваны трубкай, утварае падзенне ціску для вырашэння, а вырашаны газ таксама трапляе ў чысты газ у трубцы. У той жа час адсорбцыя і дазвол паўтараюцца, так што метал на ўнутранай паверхні трубкі таксама вырабляе пэўную колькасць парашка, і гэтыя металічныя часціцы пылу таксама забруджваюць чысты газ унутры трубы. Гэтая характарыстыка трубкі мае важнае значэнне для забеспячэння чысціні транспартаванага газу, які патрабуе не толькі вельмі высокай гладкасці ўнутранай паверхні трубы, але і высокай зносу.
Калі выкарыстоўваецца газ з моцнымі агрэсіўнымі характарыстыкамі, для трубаправодаў неабходна выкарыстоўваць трубы з нержавеючай сталі. У адваротным выпадку труба будзе вырабляць карозійныя плямы на ўнутранай паверхні з -за карозіі, і ў сур'ёзных выпадках будзе вялікая ўчастка металічнага зачысткі і нават перфарацыі, якая забрудзіць чысты газ, які будзе размеркаваны.
Падключэнне да перадачы газу і размеркавання высокай чысцінёй і высокай чысцінёй.
У прынцыпе, усе яны зварваюцца, і пры нанясенні зваркі не патрабуюцца змены ў арганізацыі. Матэрыялы з занадта высокім утрыманнем вугляроду падвяргаюцца пранікальнасці паветра зварных частак пры зварцы, што робіць узаемнае пранікненне газаў унутры і звонку трубы і разбурае чысціню, сухасць і чысціню перададзенага газу, што прыводзіць да страты ўсіх нашых намаганняў.
Такім чынам, для газавай трубаправода з высокай чысцінёй і спецыяльным трубаправодам для перадачы газу неабходна выкарыстоўваць спецыяльную апрацоўку трубы з нержавеючай сталі высокай чысціні, каб зрабіць трубаправодную сістэму высокай чысціні (уключаючы трубы, фітынгі, клапаны, VMB, VMP) у размеркаванні газу высокай чысціні.
Агульная канцэпцыя чыстай тэхналогіі для перадачы і размеркавання трубаправодаў
Высока чыстая і чыстая перадача цела з трубаправодамі азначае, што існуюць пэўныя патрабаванні або кантроль для трох аспектаў газу, якія будуць перавозіцца.
Чысціня газу: утрыманне атмасферы прымешкі ў чысціні ГГАС: змест атмасферы прымешак у газе, звычайна выражаецца ў працэнтах чысціні газу, напрыклад, 99,9999%, таксама выражаецца як суадносіны аб'ёму ўтрымання атмасферы, PPM, PPB, PPT.
Сухасць: Колькасць слядоў вільгаці ў газе, альбо колькасць, якая называецца вільготнасцю, звычайна выражаецца з пункту гледжання кропкі расы, напрыклад, у атмасфернай ціску кропак расы -70. С.
Чысціня: колькасць забруджвальных часціц, якія змяшчаюцца ў газе, памеру часціц мкМ, колькі часціц/м3, каб выказаць, для сціснутага паветра, звычайна таксама выражаецца з пункту гледжання таго, колькі мг/м3 непазбежных цвёрдых рэшткаў, якія ахопліваюць утрыманне алею.
Класіфікацыя памераў забруджвальных рэчываў: часціцы забруджвальных рэчываў, у асноўным ставяцца да газавання трубаправода, зносу, карозіі, якія ўтвараюцца металічнымі часціцамі, атмасфернымі часціцамі сажы, а таксама мікраарганізмамі, фагамі і вільгаці, якія змяшчаюць кроплі газавай кандэнсацыі і г.д.
а) вялікія часціцы - памер часціц вышэй за 5 мкМ
б) часціца-дыяметр матэрыялу паміж 0,1 мкМ-5 мкМ
в) Ультра-мікра часціцы-памер часціц менш за 0,1 мкм.
Для таго, каб палепшыць прымяненне гэтай тэхналогіі, каб мець магчымасць успрымання разумення памеру часціц і мкМ адзінак, для даведкі прадастаўляецца набор канкрэтных часціц
Ніжэй прыведзена параўнанне пэўных часціц
| Імя /памер часціц (мкм) | Імя /памер часціц (мкм) | Імя/ памер часціц (мкм) |
| Вірус 0,003-0,0 | Аэразоль 0,03-1 | Аэразолізаваны мікраплект 1-12 |
| Ядзернае паліва 0,01-0.1 | Фарба 0,1-6 | Лётаць попел 1-200 |
| Вугляродны чорны 0,01-0,3 | Парашок малака 0,1-10 | Пестыцыд 5-10 |
| Смала 0,01-1 | Бактэрыі 0,3-30 | Цэментавы пыл 5-100 |
| Цыгарэтны дым 0,01-1 | Пясчаная пыл 0,5-5 | Пылок 10-15 |
| Сілікон 0,02-0,1 | Пестыцыд 0,5-10 | Чалавечыя валасы 50-120 |
| Крышталізаваная соль 0,03-0,5 | Канцэнтраваны пыл серы 1-11 | Марскі пясок 100-1200 |
Час паведамлення: 14 чэрвеня