Па меры таго, як рынак паўправаднікоў расце, стандарты чысціні і дакладнасці становяцца больш жорсткімі. Адзін з вызначальных фактараў якасці вытворчасці паўправаднікоў - гэта газы, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе. Гэтыя газы гуляюць мноства роляў у вытворчым працэсе, у тым ліку:
Дакладнасць кантролю працэсу
Прафілактыка забруджвання
Металургічная ўласцівасць
Каб эфектыўна выконваць гэтыя ролі, сістэма пастаўкі і размеркавання газу павінна быць эфектыўнай. Дызайн сістэм апрацоўкі газу, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў, павінны быць падтрыманы надзейнымі кампанентамі і індывідуальнымі зборкамі для забеспячэння надзейнай і якаснай вытворчасці паўправаднікоў.
Газы, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым вытворчасці
Працэс вытворчасці паўправаднікоў патрабуе выкарыстання розных газаў на розных этапах працэсу.
У той час як звычайныя газы, такія як азот, вадарод, аргон і гелій, могуць быць выкарыстаны ў іх чыстым выглядзе, пэўныя працэсы могуць запатрабаваць спецыялізаваных сумесяў. Сіланы або сілоксаны, гексафтор, галогеніды і вуглевадароды - гэта некалькі спецыялізаваных газаў, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправаднікоў. Многія з гэтых газаў могуць быць небяспечнымі або вельмі рэактыўнымі, ствараючы праблемы ў выбары і распрацоўцы кампанентаў для газавых сістэм.
Вось некалькі прыкладаў:
\ Вадарод і гелій могуць лёгка прасочвацца з трубаправодаў і ўстаноўкі з -за іх маленькага атамнага памеру і вагі.
\ Сіланы вельмі гаручыя і могуць самаадвольна гарэць (аутоніт) у паветры.
\ Азотная дифторид, які выкарыстоўваецца ў стадыях адкладу, тручэння і ачысткі камеры, становіцца магутным парніковым газам пры ўцечцы ў навакольнае асяроддзе.
\ Фтарыд вадароду (тручэнне газу) вельмі агрэсіўны да металічных трубаправодаў.
\ Трыметилгаллим і аміяк могуць быць цяжка справіцца - невялікія ваганні ў сваіх патрэбах у тэмпературы і ціску могуць паўплываць на працэс адкладу.
Кантроль умовы працэсу, каб мінімізаваць негатыўныя наступствы гэтых газаў, павінны стаць галоўным прыярытэтам падчас распрацоўкі сістэмы. Не менш важна выкарыстоўваць кампаненты высокай якасці, такія як дыяфрагмавыя клапаны AFK падчас працэсу зборкі.
Вырашэнне праблем дызайну сістэмы
У большасці выпадкаў газы паўправадніковых класаў маюць высокую чысціню і забяспечваюць інертныя ўмовы альбо ўзмацняюць рэакцыю на розных этапах вытворчага працэсу, напрыклад, праверкі і газы адкладу. Уцечка або забруджванне такіх газаў могуць мець негатыўныя наступствы. Такім чынам, гэта вельмі важна для сістэмных кампанентаў, якія былі герметычна герметычнымі і ўстойлівымі да карозіі, а таксама маюць гладкую аздабленне паверхні (электралітычную паліроўку), каб пераканацца, што няма магчымасці забруджвання і што надзвычай высокі ўзровень чысціні можна падтрымліваць.
Акрамя таго, для дасягнення патрэбных умоў працэсу некаторыя з гэтых газаў можна награваць або астуджаць. Добра-уіндуляваныя кампаненты забяспечваюць кантроль тэмпературы, што мае вырашальнае значэнне для эфектыўнай працы канчатковага прадукту.
Ад уваходу крыніцы да месца выкарыстання шырокі спектр кампанентаў AFK падтрымлівае звышвысокую чысціню, тэмпературу, ціск і кантроль патоку, неабходныя ў паўправадніковых чыстых пакоях і вакуумных камерах.
Распрацаваныя сістэмы з якаснымі кампанентамі ў паўправадніковых FABS
Роля якасных кампанентаў і аптымізацыі дызайну мае вырашальнае значэнне для дакладнага кантролю і бяспечнага вытворчасці паўправаднікоў. Кампаненты, якія выкарыстоўваюцца, павінны быць надзейнымі і без уцечкі, каб адпавядаць розным умовам працэсу, неабходных на розных этапах вытворчасці. Высакаякасныя клапаны, фітынгі, рэгулятары, трубаправоды і герметызацыя характарызуюцца наступнымі асаблівасцямі:
Ультра-высокая чысціня
Бясплатныя ўшчыльненні
Ізаляцыя, якая кантралюецца тэмпературай,
Кантроль ціску
Каразія супраціву
Электралітычная паліроўка лячэння
Час паведамлення: кастрычнік 09-2023