Ультра-высокія газы чысціні маюць важнае значэнне па ўсёй ланцугу паставак паўправаднікоў. На самай справе, для тыповых FAB, газы з высокай чысцінёй-самыя вялікія матэрыяльныя выдаткі пасля самога крэмнію. Пасля сусветнага дэфіцыту чыпаў прамысловасць пашыраецца хутчэй, чым калі -небудзь - і попыт на газы з высокай чысцінёй павялічваецца.
Часцей за ўсё выкарыстоўваюцца аб'ёмныя газы ў паўправадніковым вытворчасці - азот, гелій, вадарод і аргон.
Nітаген
Азот складае 78% нашай атмасферы і надзвычай багаты. Гэта таксама хімічна інертнае і неправоднае. У выніку азот знайшоў свой шлях у шэраг галін як эканамічна эфектыўны інертны газ.
Паўправадніковая індустрыя з'яўляецца асноўным спажыўцом азоту. Чакаецца, што сучасны паўправадніковы вытворчы завод будзе выкарыстоўваць да 50 000 кубічных метраў азоту ў гадзіну. У паўправадніковым вытворчасці азот дзейнічае як агульная мэта інертная і чыстка газу, абараняючы адчувальныя крэмніевыя пласціны ад рэактыўнага кіслароду і вільгаці ў паветры.
Гелій
Гелій - інертны газ. Гэта азначае, што, як і азот, гелій хімічна інертны, - але ён таксама мае дадатковую перавагу высокай цеплаправоднасці. Гэта асабліва карысна ў вытворчасці паўправаднікоў, што дазваляе яму эфектыўна праводзіць цяпло ад высокаэнергетычных працэсаў і дапамагчы абараніць іх ад цеплавых пашкоджанняў і непажаданых хімічных рэакцый.
Вадарод
Вадарод шырока выкарыстоўваецца на працягу ўсяго працэсу вытворчасці электронікі, а вытворчасць паўправаднікоў не з'яўляецца выключэннем. У прыватнасці, вадарод выкарыстоўваецца для:
Адпал: крамянёвыя пласціны звычайна награваюцца да высокіх тэмператур і павольна астуджаюцца да аднаўлення (адпалу) крышталічнай структуры. Вадарод выкарыстоўваецца для раўнамернага пераносу цяпла на пласціну і для аказання дапамогі ў аднаўленні крышталічнай структуры.
Эпітаксія: Ультравысокая вадарод чысціні выкарыстоўваецца ў якасці аднаўленчага рэчыва ў эпітаксіяльным адкладзе паўправадніковых матэрыялаў, такіх як крэмній і германій.
Адклад: вадарод можна легіраваць у крэмніевыя плёнкі, каб зрабіць іх атамную структуру больш неўпарадкаванай, дапамагаючы павысіць супраціў.
Ачыстка плазмы: вадародная плазма асабліва эфектыўная для выдалення забруджвання волава з крыніц святла, якія выкарыстоўваюцца ў УФ -літаграфіі.
Аргон
Аргон - яшчэ адзін высакародны газ, таму ён праяўляе тую ж нізкую рэактыўнасць, як азот і гелій. Аднак нізкая іянізацыйная энергія Аргона робіць яе карыснай у паўправадніковых прыкладаннях. З -за яго адноснай прастаты ў іянізацыі, аргон звычайна выкарыстоўваецца ў якасці першаснага плазменнага газу для рэакцый трубкі і адкладу пры вытворчасці паўправаднікоў. У дадатак да гэтага, Argon таксама выкарыстоўваецца ў ExiMer Lasers для УФ -літаграфіі.
Чаму чысціня мае значэнне
Звычайна прагрэс у тэхналогіі паўправаднікоў быў дасягнуты за кошт маштабавання памераў, а новае пакаленне тэхналогіі паўправаднікоў характарызуецца меншымі памерамі функцый. Гэта дае шматлікія перавагі: больш транзістараў у дадзеным томе, паляпшэнне токаў, зніжэнне спажывання электраэнергіі і больш хуткае пераключэнне.
Аднак па меры памяншэння крытычнага памеру паўправадніковыя прылады становяцца ўсё больш складанымі. У свеце, дзе становішча асобных атамаў мае значэнне, парогі допуску няспраўнасцей вельмі шчыльныя. У выніку сучасныя паўправадніковыя працэсы патрабуюць перапрацоўкі газаў з максімальна высокай чысцінёй.
WOFLY is a high-tech enterprise specializing in gas application system engineering: electronic special gas system, laboratory gas circuit system, industrial centralized gas supply system, bulk gas (liquid) system, high purity gas and special process gas secondary piping system, chemical delivery system, pure water system to provide a full set of engineering and technical services and ancillary products from the technical consulting, overall planning, system design, selecting the equipment, prefabricated components, the installation and construction Сайта праекта, агульнае тэставанне сістэмы, абслугоўванне і іншыя прадукты, якія падтрымліваюць, інтэгравана.
Час паведамлення: 11 ліпеня 201-2023