У паўправадніковым вырабе газы робяць усю працу, і лазеры прыцягваюць усю ўвагу. У той час як лазеры робяць транзістарныя ўзоры ў крэмній, афорт, які ўпершыню адкладае крэмній і разбурае лазер, каб зрабіць поўныя схемы, - гэта шэраг газаў. Не дзіўна, што гэтыя газы, якія выкарыстоўваюцца для распрацоўкі мікрапрацэсараў праз шматступеньчаты працэс, маюць высокую чысціню. У дадатак да гэтага абмежавання, у многіх з іх ёсць іншыя праблемы і абмежаванні. Некаторыя газы з'яўляюцца крыягеннымі, іншыя - агрэсіўныя, а іншыя вельмі таксічныя.
Увогуле, гэтыя абмежаванні робяць вытворчыя сістэмы размеркавання газу для паўправадніковай галіны значнай праблемай. Тэхнічныя характарыстыкі матэрыялу патрабуюць. У дадатак да тэхнічных характарыстык, масіў размеркавання газу з'яўляецца складаным электрамеханічным масівам узаемазвязаных сістэм. Умовы, у якіх яны збіраюцца, складаныя і перакрываюцца. Канчатковае выраб адбываецца на сайце ў рамках працэсу ўстаноўкі. Арбітальная паянне дапамагае адпавядаць высокім спецыфікацыям патрабаванняў да размеркавання газу, робячы выраб у цесных, складаных умовах больш кіраваным.
Як паўправадніковая галіна выкарыстоўвае газы
Перш чым паспрабаваць планаваць выраб сістэмы размеркавання газу, неабходна зразумець, па меншай меры, асновы вытворчасці паўправаднікоў. Па сваёй сутнасці, паўправаднікі выкарыстоўваюць газы для адкладання амаль элементарных цвёрдых рэчываў на паверхні ў высока кантраляваным парадку. Затым гэтыя адкладзеныя цвёрдыя рэчывы змяняюцца шляхам увядзення дадатковых газаў, лазераў, хімічных атоентаў і цяпла. Крокі ў шырокім працэсе:
Адклад: Гэта працэс стварэння першапачатковай крамянёвай пласціны. Газы -папярэднікі крэмнію запампоўваюцца ў вакуумную камеру і ўтвараюць тонкія крэмнійныя пласціны праз хімічныя і фізічныя ўзаемадзеяння.
Фоталітаграфія: у раздзеле фота ставіцца да лазераў. У больш высокай экстрэмальнай ультрафіялетавай літаграфіі (EUV), які выкарыстоўваецца для вырабу найвышэйшай тэхнічнай тэхнікі, выкарыстоўваецца лазер вуглякіслага газу для ўрэзання мікрапрацэсарнай схемы ў пласціну.
Падтраў: Падчас працэсу тручэння газавы газ галоген-вугляроду запампоўваецца ў камеру, каб актываваць і раствараць выбраныя матэрыялы ў падкладцы крэмнію. Гэты працэс эфектыўна выгравіруе лазерную друкаваную схему на падкладку.
Допінг: Гэта дадатковы этап, які змяняе праводнасць прарэзанай паверхні, каб вызначыць дакладныя ўмовы, пры якіх праводзіць паўправадніковы.
Адпал: У гэтым працэсе рэакцыі паміж пластамі пласціны запускаюцца пад павышаным ціскам і тэмпературай. Па сутнасці, ён дапрацоўвае вынікі папярэдняга працэсу і стварае завершаны працэсар у пласціне.
Камера і чыстка ліній: газы, якія выкарыстоўваюцца ў папярэдніх этапах, асабліва тручэння і допінгу, часта бываюць вельмі таксічнымі і рэактыўнымі. Такім чынам, камера працэсу і газавыя лініі, якія яго падаюць, павінны быць запоўнены нейтралізацыйнымі газамі, каб паменшыць або ліквідаваць шкодныя рэакцыі, а затым запоўнены інертнымі газамі, каб прадухіліць уварванне якіх -небудзь забруджвальных газаў з -пад навакольнага асяроддзя.
Сістэмы размеркавання газу ў паўправадніковай прамысловасці часта складаныя з -за мноства розных газаў і жорсткага кантролю патоку газу, тэмпературы і ціску, якія неабходна падтрымліваць з цягам часу. Гэта таксама ўскладняецца ультравысокай чысцінёй, неабходнай для кожнага газу ў працэсе. Газы, якія выкарыстоўваюцца на папярэднім этапе, павінны быць вымыты з ліній і камер альбо іншым чынам нейтралізаваны да пачатку наступнага этапу працэсу. Гэта азначае, што існуе вялікая колькасць спецыялізаваных ліній, інтэрфейсаў паміж зварнай трубкай і шлангамі, інтэрфейсамі паміж шлангамі і трубамі, а таксама рэгулятарамі газу і датчыкамі, а таксама інтэрфейсы паміж усімі згаданымі раней кампанентамі і клапанамі і сістэмамі ўшчыльнення, прызначанай для прадухілення забруджвання прыроднага газу з перамяшчэння.
Акрамя таго, экстэр'еры чыстых пакояў і спецыялізаваныя газы будуць абсталяваны сістэмамі харчавання газу ў чыстых умовах і спецыялізаванымі абмежаванымі ўчасткамі, каб змякчыць любыя небяспекі ў выпадку выпадковай уцечкі. Зварка гэтых газавых сістэм у такіх складаных умовах - гэта не простая задача. Аднак з асцярожнасцю, увагай да дэталяў і правільнага абсталявання, гэтая задача можа быць выканана паспяхова.
Вытворчыя сістэмы размеркавання газу ў паўправадніковай галіне
Матэрыялы, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых сістэмах размеркавання газу, вельмі зменлівыя. Яны могуць уключаць такія рэчы, як металічныя трубы і шлангі, выкладзеныя PTFE, супрацьстаяць высока агрэсіўным газам. Самы распаўсюджаны матэрыял, які выкарыстоўваецца для трубаправодаў агульнага прызначэння ў паўправадніковай галіне, - гэта 316L з нержавеючай сталі - варыянт з нізкім утрыманнем вугляроду. Калі гаворка ідзе пра 316L супраць 316, 316L больш устойлівы да міжгранулярнай карозіі. Гэта важнае пытанне пры барацьбе з шэрагам высока рэактыўных і патэнцыйна лятучых газаў, якія могуць раз'ядаць вуглярод. Зварка 316L з нержавеючай сталі вылучае менш асадка вугляроду. Гэта таксама зніжае патэнцыял эрозіі мяжы збожжа, што можа прывесці да карозіі ў швех і зонах, якія пацярпелі ад цяпла.
Каб паменшыць магчымасць карозіі трубаправодаў, што прывядзе да карозіі і забруджвання лінейкі прадуктаў, 316L з нержавеючай сталі, зваранай чыстым аргонам, ахоўвае газ і вальфрамавы газавы шварцкі рэек, з'яўляецца стандартным у паўправадніковай галіне. Адзіны працэс зваркі, які забяспечвае кантроль, неабходны для падтрымання асяроддзя высокай чысціні ў трубаправодах. Аўтаматызаваная арбітальная зварка даступная толькі пры размеркаванні паўправадніковага газу
Час паведамлення: 18 ліпеня 18-2023