Выкарыстанне газаў у паўправадніковай галіны датуецца пачаткам 1950 -х да 1960 -х. Падчас працэсу вытворчасці паўправаднікоў газы ў асноўным выкарыстоўваюцца для ачысткі і абароны паўправадніковых матэрыялаў, каб забяспечыць іх чысціню і якасць. Сярод найбольш часта выкарыстоўваюцца газаў - азот і вадарод.
Па меры развіцця паўправадніковых тэхналогій, а вытворчыя працэсы працягвалі паляпшацца, попыт на газы павялічыўся. У 1970 годзе далейшае развіццё тэхналогіі вытворчасці паўправаднікоў, прымяненне газаў у ключавых працэсах, такіх як тручэнне і адкладанне тонкіх плёнак, паступова павялічваюцца, а фторыдныя газы (напрыклад, SF6) і кісларод, звычайна выкарыстоўваюцца тручэннямі і адкладаннямі газаў. У 1980 годзе адбылося далейшае павелічэнне попыту на газы з распрацоўкай комплексных схем і павелічэннем попыту на іх. Вадарод шырока выкарыстоўваўся ў працэсе вытворчасці, у тым ліку адпалу вадароду і адкладання пара вадароду. І з 1990 года па сённяшні дзень попыт на газы высокай чысціні і канкрэтныя газы павялічыўся, паколькі памеры паўправадніковых прылад працягвалі скарачацца, і новыя працэсы былі ўведзены. Напрыклад, прымяненне экстрэмальнай ультрафіялетавай літаграфіі (EUV) патрабуе выкарыстання надзвычай высока ўрачыстых газаў, такіх як азот і вадарод.
Паўправадніковая газ працягвае павялічвацца з распрацоўкай звязаных з імі прадуктаў, абумоўленых усё больш і больш прадуктаў, у той час як газ таксама належыць да крыніцы небяспекі, таму прадукты, якія выкарыстоўваюцца для дэкампрэсіі газу, прадукты выяўлення газу, і прадукты ўцечкі газу ўзнікаюць такія, як рэгулятары ціску, газавыя клапаны, датчыкі ціску газу, дэтэктар уцечкі газу і г.д.
Рэгулятары ціску: рэгулятары ціску - гэта прылады, якія выкарыстоўваюцца для барацьбы з ціскам газу. Звычайна яны складаюцца з клапана рэгулятара і датчыка ціску. Рэгулятары ціску прымаюць увод газу высокага ціску і стабілізуюць ціск выходнага газу, рэгулюючы клапан для задавальнення пэўных патрабаванняў да прымянення. Рэгулятары ціску шырока выкарыстоўваюцца ў такіх галінах, як прамысловасць, вытворчасць і лабараторыі, а таксама ў паўправадніковай галіне, сярод іншых, для забеспячэння стабільнасці і бяспекі пастаўкі газу.
Газавыя клапаны: Газавыя клапаны выкарыстоўваюцца для кантролю патоку газаў і для закрыцця газавых праходаў. Звычайна яны маюць функцыю ўключэння/выключэння, якая адкрываецца або закрывае паток газу. Існуюць розныя тыпы газавых клапанаў, у тым ліку ручныя клапаны, электрычныя клапаны і пнеўматычныя клапаны. Яны шырока выкарыстоўваюцца ў газавых сістэмах для кантролю патоку, ціску і хуткасці газаў.
Датчыкі ціску газу: датчыкі ціску газу выкарыстоўваюцца для вымярэння ўзроўню ціску газу. Звычайна яны ўсталёўваюцца ў крытычных месцах у газавых сістэмах для кантролю за змяненнем ціску і гарантуюць, што яны знаходзяцца ў бяспечных межах. Датчыкі ціску газу шырока выкарыстоўваюцца ў прамысловасці, вытворчасці і лабараторыях, а таксама была задзейнічана паўправадніковая індустрыя.
Дэтэктары ўцечкі газу: Дэтэктары ўцечкі газу выкарыстоўваюцца для выяўлення ўцечак у газавых сістэмах. Яны выяўляюцьНаяўнасць уцечак газу і гучання сігналізацыі, каб можна было прыняць своечасовае дзеянне для прадухілення аварый. Дэтэктары ўцечкі газу шырока выкарыстоўваюцца ў прамысловых, хімічных, нафтавых і газавых дадатках, а таксама ўдзельнічала таксама паўправадніковая прамысловасць.
Час паведамлення: 20 лютага 2014 г.