Абсталяванне для ачысткі хваставога газу можа апрацоўваць газы, якія выкарыстоўваюцца ў працэсах тручэння і працэсах адкладу хімічнага пары ў паўправадніковых, вадкіх крышталях і сонечнай энергетычнай прамысловасці, уключаючы SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, і гэтак далей.
Метад апрацоўкі выхлапных газаў
У адпаведнасці з характарыстыкамі лячэння выхлапных газаў, лячэнне можна падзяліць на чатыры віды лячэння:
1. Тып мыцця вады (лячэнне агрэсіўных газаў)
2. Акісляльны тып (які займаецца гаручымі і таксічнымі газамі)
3. Адсорбцыя (у залежнасці ад тыпу адсорбцыйнага матэрыялу для барацьбы з адпаведным выхлапным газам).
4. Тып гарэння плазмы (усе тыпы выхлапных газаў можна лячыць).
Кожны тып лячэння мае свае перавагі і недахопы, а таксама аб'ём прымянення. Калі спосаб лячэння з'яўляецца мыццём вады, абсталяванне таннае і простае, і можа апрацоўваць толькі растваральныя ў вадзе газы; Дыяпазон прымянення тыпу прамывання электрычнай вады вышэй, чым у тыпе мыцця вады, але кошт працы высокая; Сухі тып мае добрую эфектыўнасць лячэння і не прымяняецца да патоку газу, які лёгка забівацца альбо цячэ.
Хімічныя рэчывы і іх пабочныя прадукты, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай галіне, могуць быць аднесены да класіфікацыі ў адпаведнасці з іх хімічнымі ўласцівасцямі і рознымі дыяпазонамі:
1. Гаручыя газы, такія як SIH4H2 і г.д.
2. Таксічныя газы, такія як Ash3, PH3 і г.д.
3. Моразійныя газы, такія як HF, HCl і г.д.
4. Паркоўныя газы, такія як CF4, NF3 і г.д.
Паколькі вышэйзгаданыя чатыры газы шкодныя для навакольнага асяроддзя або чалавечага арганізма, павінны прадухіліць яго прамую выкід у атмасферу, таму агульнае паўправадніковае расліна ўсталёўваецца з вялікай цэнтралізаванай сістэмай ачысткі выхлапных газаў, але гэтая сістэма толькі выхлапнасць вады, таму яго прымяненне абмяжоўваецца выхлапным газам на адлегласці і не можа мець справу з пастаянным змяненнем і сумяшчальным аддзелам працэсу выхлапнага газу. Такім чынам, неабходна выбраць і адпавядаць адпаведным абсталяваннем для ачысткі выхлапных газаў у адпаведнасці з характарыстыкамі газу, атрыманых з кожнага працэсу, каб невялікім чынам вырашыць праблему выхлапных газаў. Паколькі працоўная зона ў асноўным знаходзіцца ў межах цэнтральнай сістэмы ачысткі выхлапных газаў, часта з -за характарыстык газу прыводзяць да крышталізацыі або назапашвання пылу ў трубаправодзе, што прыводзіць да закаркавання трубаправода, што прыводзіць да ўцечкі газу, а ў сур'ёзных выпадках нават выклікае выбух, не можа забяспечыць бяспеку працы супрацоўнікаў сайта. Такім чынам, у працоўнай зоне неабходна наладзіць невялікую абсталяванне для ачысткі выхлапных газаў, прыдатнае для характарыстык працэсавага газу, каб паменшыць застойныя выхлапныя газы ў працоўнай зоне, каб забяспечыць бяспеку персаналу.
Час паведамлення: 10 жніўня-20123